Prvi inženjering projekat u industriji poluprovodnika

Prvi inženjering projekat u industriji poluprovodnika

Besi, Austrija

Dugogodisnje iskustvo i tradicija u projektovanju i izvodjenju čistih soba na prostorima EU, pa i čitavog sveta, dovelo je do toga da danas, pored otvorenih projekata na tlu Belgije, Holandije, Rusije i drugih zemalja, Termovent uspešno realizuje, u saradnji sa kompanijom Exyte Central Europe GmbH iz Stuttgarta, specifičan projekat čistih soba u Austriji za Besi Austria GmbH, firmu koja je deo globalne kompanije Besi sa sedištem u Holandiji.

Kompanija Besi se bavi jednom posebnom linijom poslovanja, razvojem, proizvodnjom i prodajom opreme za sklapanje poluprovodnika za globalnu mikroelektronsku industriju i vodeće multinacionalne proizvođače mikročipova.

U pitanju je implementacija čistih soba i pratećih sistema, sa kompletnim upravljanjem i monitoringom preko BMS/EMS sistema, u postojeći objekat u cilju razvijanja nove generacije mašina u mikroelektronskoj industriji.

Naš obim posla je podrazumevao projektnu dokumentaciju, proizvodnju Čistih Soba i Klima Komora, isporuku i instalaciju opreme sistema (HVAC, Black Utility, Electrical, BMS/EMS), puštanje u rad i validaciju sistema, koji je u potpunosti projektovan i izveden prema ISO 14644-1 standardu.

Projektovanje sistema i izradu projektne dokumentacije prema Austrijskim normama, smo uspešno sproveli, tokom 2. i 3. kvartala 2020. godine, pre svega zbog posvećenog timskog rada, ne samo mašinskih inženjera, već i elektro inženjera, arhitekata, tehnologa i drugih kolega koji su dali poseban pečat celoj priči.

Projekat u brojevima:
Početak projekta: 25.09.2020
Završetak projekta: 25.01.2021
Projekat obuhvata:
Instalaciju čistih soba,
Instalaciju HVAC, Black Utility, Elektro i BMS/EMS sistema,
Puštanje u rad,
Validaciju sistema,
Projektna dokumentacija izvedenog stanja,
Trening za upravljanje sistemom (BMS/EMS, SCADA)
Klase:ISO4, ISO5, ISO7
Klima komore: FAHU, RAHU01, RAHU02, RAHU03
Protok vazduha: 69000 m3/h
Površina Čiste sobe: 235 m2,
Tehničke sobe: 135 m2

Istakao bih da naše klima komore, sa modernim Ziehl Abegg ventilatorima i integrisanim frekventnim regulatorima, ispunjavaju najstrozije zahteve u pogledu buke i vibracija što se ovde i pokazalo činjenicom da su pozicionirane par metara od čistog prostora, u kojem je kriterijum buke od maksimalno 65 dB ispunjen, pri rada sistema na 85%.

FAHU, sa protokom vazduha od 7000 m3/h, obezbeđuje neophodnu količinu svežeg vazduha za operatere u čistim sobama i održavanje sobnog pritiska u zajedničkom radu sa lokalnim odsisom koji se ostvaruje pomoću kanalskih ventilatora.
RAHU01, RAHU02 and RAHU03 obezbeđuju recirkulaciju vazduha iz čistih soba, sa ukupnim protokom od 62000 m3/h. Ovim sistemom uz terminalnu ULPA/HEPA filtraciju, Klijent je dobio čiste sobe koje ispunjavaju i najstrožije zahteve u pogledu ISO4/ISO5 klase i dozvoljene koncentracije čestica.

Za snabdevanje hladnjaka klima komora predviđen je vodeni sistem temperaturskog režima 6/12 ̊C i vazduhom hlađeni Čiler sa 216 kW rashladnim kapacitetom. Sa druge strane za grejače je izabran vodeni sistem temperaturskog režima 60/40 ̊C dok je izvor tople vode bio obezbeđen od strane Klijenta.

Ono što čini ovaj projekat specifičnim jeste tesan i ograničen prostor za instalacije. Kao rešenje tome, u ISO4 čistim sobama je implementiran poseban “UFR gel plafon“, proizvod kompanije Exyte Central Europe iz Nemačke.

Plafon predstavlja “veliki plenum“ iznad čitave površine čiste sobe iz kojeg se vazduh direktno distribuira kroz ULPA filtraciju u čist prostor bez standardnih distributivnih elemenata. Na ovaj način su izbegnute gabaritne instalacije kanala iznad ISO4 soba, a potrebne klase postignute. Zaptivenost UFR plafona je obezbeđena specijalnim gelom koji ne propušta vazduh u sobe ni pri maksimalnim opterećenjima i vazdušnim pritiscima u plafonu, odnosno plenumu.

Klijent je dobio čiste sobe sa potpuno upravljačko automatizovanim HVAC sistem koji postize i odrzava protok vazduha, pritisak, temperaturu i vlaznost u čistim sobama, dok je putem sistema monitoringa omogućeno praćenje temperature, pritiska, relativne vlažnosti u ISO 4,5,7 čistim sobama što je od izuzetne važnosti za mikroelektronski proces koji se unutar soba odvija.

Kao najveći izazov koji je bio pred nama, je definitivno bila pandemija Covid-19. Imala je uticaj na obezbeđivanje radnih dozvola, dinamiku izvođenja prilikom “lockdown-a” u Austriji, isporuku opreme itd…
Sa sistematskim pristupom projektu, planom, organizacijom i tehničkom podrškom svih kolega, projekat smo uspešno završili u predviđenom roku, a Klijent je dobio čiste sobe i prateće sisteme koji ispunjavaju i najstrožije zahteve u pogledu ISO standarda, upravljanja sistema i monitoringa ključnih parametara.

Termovent je prepoznatljiv u svetu po uspesnoj isporuci kompletnih paketa čistih soba i sistema koji su u skladu sa ISO 14644-1 i GMP standardima.
Komplet paket, koji podrazumeva sve od projektovanja sistema, pravljenja softvera, proizvodnje modularnih čistih soba i klima komora pa sve do izvodjenja, BMS/EMS sistema, validacione dokumentacije, je ono što nas, uz kvalitet izvedenih sistema, izdvaja u farmaceutskoj i elektronskoj industriji širom sveta.

Predrag Nikolić,
Project Manager

Predrag Nikolić je inženjer i Project Manager u Termoventu i on je podelio svoje iskustvo rada na ovom projektu.