Первый Инженерный проект в полупроводниковой промышленности

Первый инженерный проект в полупроводниковой промышленности

Besi Австрия

Многолетний опыт и традиция в разработке и выполнении чистых помещений на территории ЕС, и всего мира, позволили компании Termovent, помимо открытых проектов на территории Бельгии, Нидерландов, России и других стран, успешно, в сотрудничестве с компанией Exyte Central Europe GmbHб г.Штутгарт, реализовать специфический проект чистых помещений в Австрии, для компании Besi Austria GmbH, которая вхоит в состав мировой компании Besi с центрльным офисом в Нидерландах.

Компания Besi занимается специальным направлением деятельности – разработкой, производством и продажей сборочного оборудования для полупроводниковой промышленности и ведущих мировых производителей микрочипов.

Это внедрение чистых помещений и сопутствующих систем с комплексным управлением и мониторингом с помощью BMS/EMS систем, на существующем объекте с целью разработки нового поколения машин в микроэлектронной промышленности.

Объем наших работ включал в себя разработку проектной документации, изготовление чистых помещений, и установок вентиляции и кондиционирования, поставку и установку оборудования инженерных систем ( таких как: HVAC, водоподача и водоотведение, электросистема, BMS/EMS), ввод в эксплуатацию, валидацию систем, которые полностью спроектированы и выполнены в соответствии с ISO 14644-1.

Разработку систем и оформление проектной документации в соответствии со австрийскими стандартами успешно реализовали во 2-м и 3-м кварталах 2020 года, благодаря преданной совместной работе не только инженеров-механиков, но и инженеров-электриков, архитекторов, технологов и других коллег, которые участвовали в проекте.

Проект в цифрах:
Начало проекта: 25.09.2020 г.
Завершение проекта: 25.01.2021 г.
Проект включает:
-Установку чистых помещений,
-Установку системы HVAC, подоподачи и водоотведения, электросистемы и BMS/EMS,
-Ввод в эксплуатацию,
-Валидацию систем,
-Исполнительную документацию проекта,
-Обучение для управления системами (BMS/EMS, SCADA)
Классы: ISO4, ISO5, ISO7
Вентиляционные установки: FAHU, RAHU01, RAHU02, RAHU03
Объем воздуха: 69000 м3/ч
Площадь: Чистые помещения: 235 м2, Технические помещения: 135 м2

Помимо обеспечения и поддержания условий комфорта в чистых помещения, для достижения требуемого класса чистоты и давления в чистых помещениях, предусмотрены 4 установки кондиционирования.
Особенно хотелось бы отметить то, что наши установки кондиционирования со современными вентиляторами Ziehl Abegg и встроенными преобрзователями частоты, отвечают самым строгим требованиям к уровню шума и вибраций, что подтверждает их размещение, в нескольких метрах от чистого пространства, где максимальный допустимый уровень шума 65 дБ при работе системы на 85%.
FAHU, с расходом воздуха, который составляет 7000 м3/ч, и локальной вытяжкой, которая осуществляется применением канальных вентиляторов обеспечивают необходимый объем воздуха для операторов в чистых помещениях и поддержание давления в помещениях.
RAHU01, RAHU02 and RAHU03 обеспечивают рециркуляцию воздуха в чистых помещениях с общим расходом воздуха 62000 м3/ч. С помощью данной системы и терминальной ULPA/HEPA фильтрации, Заказчик получил чистые помещения, отвечающие самым строгим требованиям к классу ISO4/ISO5 и допустимым концентрациям аэрозолей.

Для снабжения охладителя установки кондиционирования предусмотрены водяная система температурного режима 6/12 ̊C и охлаждаемый воздухом чилер производительностью 216 кВт. С другой стороны, в качестве нагревателя выбрана водяная система, температурного режима 60/40 ̊C, при чем источник горячей воды обеспечил Заказчик.

Спецификой данного проекта является узкое и ограниченное пространство для размещения коммуникаций. В качестве решения в помещениях ISO4 выполнен специальный “UFR гелевый потолок”, произведенный компанией Exyte Central Europe, Германия.
Потолок представляет собой “большой пленум” над общей поверхностью чистого помещения, из которого, через фильтрацию ULPA, воздух поступает непосредственно в чистое помещение без стандартных воздухораспределителей.
Таким образом удалось избечь воздуховоды больших размеров над помещениями класса ISO4, и обеспечить требуемый класс чистоты. Герметичность потолка UFR обеспечивают специальные гели, которые, даже при максимальных нагрузках и давлении воздуха в потолке, т.е. в пленуме, не пропускают воздух в помещения.

Заказчик получил чистые помещения с полностью автоматизированной HVAC системой управления, которая достигает и поддерживает расход воздуха, давление, температуру и влажность в чистых помещениях, причем система мониторинга позволяет отслеживать температуру, давление, относительную влажность в чистых помещениях классов ISO 4,5,7, что является особенно важным для микроэлектронного процесса, происходящего внутри помещения.

Самой большой задачей, которую нам предстояло решить, несомненно, была пандемия Covid-19. Она влияла на обеспечение разрешений на работу, динамику выполнения работ в условиях локдауна в Австрии, поставку оборудования и т.д…

Благодаря системному подходу к проекту, планированию, организации и технической поддержке всех коллег, мы успешно, в срок, завершили проект, а заказчик получил чистые помещения и обслуживающие системы, отвечающие самым строгим требованиям стандарта ISO, систему управления и мониторинга ключевых параметров.

Termovent является признанным в мире поставщиком комплексного пакета чистых помещений и систем в соответствии с ISO 14644-1 и GMP.
Комплексный пакет, включающий в себя все – от проектирования системы, разработки программного обеспечения, производства модульных чистых помещений и установок кондиционирования, до выполнения работ, систем BMS / EMS, валидационной документации, – это то, чем мы, кроме качества выполненных работ, отличаемся в фармацевтической и электронной промышленностях мира.

Predrag Nikolić,
Руководитель проекта

Predrag Nikolić инженер и руководитель проекта в Termovent, и он поделился своим опытом в этом проекте.